À mesure que la technologie continue d’être mise à jour et itérée, ses fonctions deviennent de plus en plus parfaites. Les machines de lithographie UV de différents modèles, spécifications et configurations peuvent répondre aux besoins de différentes industries, telles que les fabricants de semi-conducteurs, les instituts de recherche, etc. Avec le développement d'industries émergentes telles que la fabrication intelligente et l'intelligence artificielle, les machines de lithographie UV jouent un rôle de plus en plus important. rôle dans la promotion du progrès technologique et de la modernisation industrielle.

En tant qu'équipement de fabrication haut de gamme, la machine de lithographie UV présente les avantages d'un traitement de précision, d'une production efficace, d'une stabilité et d'une fiabilité, etc. Elle joue un rôle important dans l'amélioration de la compétitivité industrielle et la promotion du développement technologique. À l'avenir, avec le développement continu de la technologie, les machines de lithographie UV continueront d'exercer leur énorme potentiel et de contribuer au développement de l'industrie mondiale de haute technologie.

 

 

1. L'équipement prend beaucoup de temps à concevoir et à fabriquer, et a de nombreuses spécifications de produit (actuellement, l'entreprise produit régulièrement 25 types de produits finalisés) et a accumulé une riche expérience de conception et de fabrication : notre société a conçu, fabriqué et vendu machines de photolithographie de haute précision à elles seules. Cela fait plus de 20 ans.

2. Grâce à des années d'amélioration continue, nous avons rendu la technologie de l'équipement plus parfaite et le fonctionnement plus stable et fiable. Certains mécanismes ou systèmes des équipements sont originaux de notre entreprise (de nombreux équipements domestiques similaires ne sont pas aux normes ou ont des fonctions inappropriées). Les performances spécifiques dans les domaines suivants :

(1) En termes de système d’alignement et d’enregistrement mécanique :

La technologie de nivellement flottante à l'air est utilisée pour donner à l'équipement d'excellentes performances de nivellement. Il peut compenser efficacement le mauvais contact de la plaque provoqué par l'erreur de coin de la plaque, améliorant ainsi les lignes exposées et réduisant les rayures graves sur la plaque causées par une force de nivellement excessive. , De plus : le "contact", la "séparation" de l'équipement, la dérive est extrêmement faible, nous avons un certain nombre de mesures pour réduire la dérive, ce sont : le plateau ne bouge pas, le plateau bouge, la direction du la force des composants d'ajustement X, Y, θ et la direction de son propre poids sont cohérentes ; cohérent;

Le mouvement de levage sur l'axe Z est un guide linéaire à bille, qui adopte un mouvement d'ajustement serré. Il n'y a pas d'espace latéral dans le mouvement de haut en bas, éliminant ainsi la dérive latérale ; la plaque est adsorbée sous le cadre de la plaque et lorsqu'elle est scellée sous vide, elle ne se comportera pas comme si elle était sur le cadre de la plaque. En raison de la « différence de surface » générée lors du scellage sous vide, la force ascendante est supérieure à la force descendante, ce qui provoque une déformation importante de la plaque et une grande erreur d'espacement accumulée des graphiques ;

un. La plaque est fixée par adsorption sous vide, ce qui est non seulement pratique pour le chargement et le déchargement de la plaque, mais garantit également qu'il n'y aura pas de dérive latérale pendant le contact et la séparation, ce qui améliore non seulement la précision du recouvrement, mais augmente également considérablement la vitesse de recouvrement. ;

b. Une fois le cadre en plaque retourné, la connexion avec le corps de la machine est une adsorption sous vide. Lorsque la plaque est sur le dessus, le cadre de la plaque ne dérivera pas latéralement.

(2) En termes d’alignement du système d’observation :

Microscope monoculaire à zoom continu 1,6 ~ 10x, connecté à un écran LCD 19″ via une caméra CCD, avec un grossissement total de 91x ~ 570x.

(3) En termes de système d'exposition :

L'uniformité de la lumière est bonne, dans la plage de Ф100 mm, l'irrégularité de la lumière est inférieure ou égale à ± 3 % et la durée de vie est longue (la durée de vie normale de la source de lumière ultraviolette LED n'est pas inférieure à 20,{{ 3 heures). Le support à plaques effectue un mouvement de retournement par rapport à la table porte-film : premièrement, il est pratique pour charger et décharger le film. Deuxièmement, il est facile de nettoyer le film et la plaque avec de l'azote ou une boule de nettoyage des oreilles. Le cadre de la plaque est fixé par adsorption sous vide, ce qui non seulement réduit la « dérive », mais facilite également l'opération.

 

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